上海某半导体目标致力于开发适用于40-28mm节点的300mm硅单晶生长、硅片加工、外延片制备、硅片分析检测等硅片产业化成套量产工艺;预计月产能为15万片12英寸硅片,最终将形成300mm硅片60万片/月的产能。主要废气酸性废气(20000CMH*1套)2016年完工,专业为客户量身定制产品,为客户降低成本,设计美观,并得到客户好评与认可。
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